Software De Cassino De Feixe De Eletrons
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Resumo: O presente trabalho tem como objetivo desenvolver um processo de fabricação de elementos micro-ópticos utilizando-se litografia por feixe de elétrons. Page 7.
Simulação por metodo Monte Carlo – Software Casino – [HOST]o Cruz (CM-UFMG). .
Ao perder energia, os elétrons do feixe e, junto com os ejetados durante a ionização do He, são recolhidos pela espira e retornam à fonte de.